L'uso di gas nell'industria dei semiconduttori risale ai primi anni '50 e '60.i gas sono utilizzati principalmente per pulire e proteggere i materiali semiconduttori per garantire la loro purezza e qualitàTra i gas più utilizzati ci sono l'azoto e l'idrogeno.
Nel 1970, con lo sviluppo della tecnologia dei semiconduttori e il continuo miglioramento dei processi produttivi, la domanda di gas è aumentata.l'applicazione di gas nei processi chiave come l'incisione e la deposizione di pellicole sottili è gradualmente aumentata, e gas fluorurati (ad esempio SF6) e ossigeno divennero gas di incisione e deposizione comunemente utilizzati.Nel 1980 si è registrato un ulteriore aumento della domanda di gas con lo sviluppo dei circuiti integrati e l'aumento della domanda di essiL'idrogeno è stato ampiamente utilizzato nel processo di fabbricazione, compresa la ricottura dell'idrogeno e la deposizione a vapore di idrogeno.la domanda di gas ad alta purezza e di gas specifici è aumentata con l'aumento delle dimensioni dei dispositivi semiconduttori e l'introduzione di nuovi processiPer esempio, l'applicazione della litografia ultravioletta estrema (EUV) richiede l'uso di gas di altissima purezza come azoto e idrogeno.
Il gas semiconduttore continua ad aumentare con lo sviluppo di prodotti correlati guidati da sempre più prodotti sono rivelati, mentre il gas appartiene anche alla fonte di pericolo,quindi i prodotti utilizzati per la decompressione del gas, prodotti di rilevamento dei gas e prodotti per prevenire le perdite di gas sono emersi come regolatori di pressione, valvole del gas, manometri di pressione del gas, rilevatore di perdite di gas, ecc., e i loro ruoli sono i seguenti:
Regulatori di pressione: I regolatori di pressione sono dispositivi utilizzati per controllare la pressione dei gas.I regolatori di pressione assumono un gas di ingresso ad alta pressione e stabilizzano la pressione del gas di uscita regolando la valvola per soddisfare requisiti specifici di applicazioneI regolatori di pressione sono ampiamente utilizzati in settori quali l'industria, la manifattura e i laboratori, nonché nell'industria dei semiconduttori, tra gli altri.per garantire la stabilità e la sicurezza dell'approvvigionamento di gas.
Valvole a gas:Le valvole a gas sono utilizzate per controllare il flusso di gas e per chiudere i passaggi di gas.comprese le valvole manuali, valvole elettriche e valvole pneumatiche. Sono ampiamente utilizzate nei sistemi di gas per controllare il flusso, la pressione e la portata dei gas.
Misuratori di pressione dei gas:I manometri di pressione dei gas sono utilizzati per misurare il livello di pressione di un gas.Sono generalmente installati in punti critici dei sistemi di gas per monitorare le variazioni di pressione e garantire che siano entro i limiti di sicurezzaI manometri di pressione dei gas sono ampiamente utilizzati nell'industria, nella manifattura e nei laboratori, ed è stata coinvolta anche l'industria dei semiconduttori.
Detettori di perdite di gas:I rilevatori di perdite di gas sono utilizzati per rilevare le perdite nei sistemi di gas.I rilevatori di perdite di gas sono ampiamente utilizzati in industria, applicazioni chimiche, petrolifere e di gas, e l'industria dei semiconduttori è stata coinvolta.