Come i gas sono utilizzati nella fabbricazione a semiconduttore

August 13, 2022
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L'industria a semiconduttore è un'industria globale enorme, che continua a coltivare ogni anno, in modo da significa che la domanda dei gas di grande purezza aumenterà di conseguenza.

Avere un rifornimento affidabile di gas di grande purezza è essenziale per fabbricazione a semiconduttore, particolarmente in tecnologie avanzate quali gli Smart Phone ed il veicolo autonomo.

Il processo della produzione dei circuiti integrati è molto complesso, richiedendo più di 30 gas differenti in tutte le fasi, che fa la gamma dei gas utilizzati uno degli più ampiamente usate in tutta l'industria.

Il gas è una parte importante di fabbricazione a semiconduttore, perché può produrre le reazioni chimiche richieste per modellare le caratteristiche elettriche dei semiconduttori. dovuto la sua complessità, il gas usato ad ogni fase del processo di fabbricazione deve essere accurato ed accurato configurare correttamente il semiconduttore.

Con lo sviluppo continuo dell'industria a semiconduttore, i gas utilizzati nel processo inoltre stanno sviluppando. Alcuni dei gas del centro usati includono l'azoto, l'ossigeno, l'argon e l'idrogeno. Discuteremo i loro ruoli nel processo di fabbricazione approfondito.

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Azoto

dovuto la sue disponibilità ed inerzia, azoto è il gas del centro utilizzato in ogni punto del processo di fabbricazione a semiconduttore, ma la sua utilizzazione principale è nella fase d'eliminazione dell'inceppo. In questa fase, l'azoto è usato per arrossire ogni canale e rete di tubazioni per rimuovere tutto l'ossigeno nelle macchine e negli strumenti, in modo da proteggerli da altri gas che possono contaminare il processo.
Inoltre, la maggior parte delle fabbriche a semiconduttore sono fornite di generatori dell'azoto sul sito dovuto il grande uso di azoto nell'intero processo. Più d'importanza, con la produzione degli smartphones alta tecnologia e di altre tecnologie, è di importanza fondamentale da tenere il minimo costato mentre prova ad incontrare il molto richiesto.
Potete dire che l'azoto considera gli strumenti, spazi e tubi a partire da tutta l'umidità potenziale, contaminanti chimici e particelle. È un gas essenziale, che è usato in tutto il processo dall'inizio all'estremità, che non è meraviglia perché installano i generatori sul sito.

 

Ossigeno

Com'è noto, l'ossigeno è un ossidante, in modo da è essenziale per produrre una reazione del deposito. È usato per coltivare gli strati dell'ossido di silicio per vari elementi nel processo, quali le maschere della diffusione.
Quando l'ossigeno è usato per fabbricazione a semiconduttore, il gas deve essere la purezza ultraelevata per impedire tutta l'impurità colpire la produzione e la prestazione del dispositivo.
Durante il processo d'incisione, l'ossigeno inoltre è usato per rimuovere tutto lo spreco materiale supplementare ha generato. Può anche essere usato per rendere tutto il modello d'incisione permanente.
Per concludere, l'ossigeno inoltre contribuisce a neutralizzare i gas reattivi con le reazioni dell'ossidazione che possono cambiare la qualità del prodotto. Di conseguenza, come azoto, l'ossigeno inoltre contribuisce ad assicurare che nessun inquinamento accada.

 

L'argon

L'argon pricipalmente è utilizzato per il deposito e processo incidere nel laser ultravioletto della litografia ed è usato per fare il più piccolo modello sul chip a semiconduttore.
Durante la fabbricazione della lastra di silicio richiesta, il gas dell'argon è usato per proteggere il cristallo del silicio formato sul wafer da tutta la reazione potenziale con ossigeno ed azoto durante il processo di crescita ad alta temperatura.
Poiché l'argon è inoltre un gas molto inerte, è usato per fornire un ambiente non reattivo per metallo che farfuglia il deposito. A volte la reattività di azoto è troppo forte, che condurrà alla formazione di nitruri del metallo.
Inoltre, l'argon liquido è usato con gli strumenti per pulire i più piccoli e chip più fragili.

 

Idrogeno

L'uso di idrogeno nella fabbricazione a semiconduttore può aumentare dovuto più molto richiesto. Particolarmente nella fase di fotolitografia, l'idrogeno è utilizzato per reagire con latta chimica per produrre l'idruro della latta. L'idruro della latta è richiesto per non accumularsi sugli elementi ottici costosi.
È usato per il deposito epitassiale di silicio e del germanio del silicio nel processo del deposito ed anche per la preparazione della superficie tramite il processo di tempera.
L'idrogeno è usato per creare un nuovo strato dell'ossido per modificare il film sottile attuale. Questo processo si presenta negli ambienti ad alta pressione ed ad alta temperatura, in modo da significa che il controllo della portata, della temperatura e della pressione è molto importante.
Inoltre, l'idrogeno inoltre è utilizzato nella fase di verniciatura per contribuire a controllare la decomposizione, perché il gas utilizzato in questo processo è altamente tossico. Tanti che debbano essere immagazzinati in un dispositivo che può impedire la perdita.
Diborane è inoltre un prodotto chimico utilizzato nel processo di verniciatura, ma dovuto instabilità termica, si decomporrà lentamente, in modo dall'idrogeno è necessario contribuire a stabilizzarla.

 

Semiconduttori nella vita quotidiana

I semiconduttori sono utilizzati in tutti i tipi di attrezzatura quotidiana, quali i computer, gli smartphones, televisioni ed anche nelle tecnologie avanzate, quali attrezzatura medica, i sistemi militari e molte altre applicazioni.
Fa parte della nostra vita quotidiana e non li notiamo perché esistono nei dispositivi che usiamo ogni giorno. Senza semiconduttori, non potremo fare molte cose. Con lo sviluppo di tecnologia dei semiconduttori, diventeranno più affidabili, intelligenti e compatte.
Dalla comunicazione, il trasporto e lo spettacolo, questi sono soltanto una piccola parte di che semiconduttori hanno fatto per noi. Alimenteranno la tecnologia e l'innovazione future, permettendoci di fare le cose che non abbiamo immaginato mai.