Man mano che il mercato dei semiconduttori cresce, gli standard di purezza e di precisione diventano sempre più severi.Uno dei fattori determinanti per la qualità della produzione di semiconduttori sono i gas utilizzati nel processoQuesti gas svolgono molti ruoli nel processo di fabbricazione, tra cui:
Controllo dei processi di precisione
Prevenzione della contaminazione
Miglioramento delle proprietà metallurgiche
Per svolgere efficacemente tali funzioni, il sistema di approvvigionamento e distribuzione del gas deve essere efficiente.La progettazione dei sistemi di movimentazione del gas utilizzati nella produzione di semiconduttori deve essere supportata da componenti robusti e assemblaggi personalizzati per garantire una produzione affidabile e di alta qualità di semiconduttori.
Gas utilizzati nella produzione di semiconduttori
Il processo di fabbricazione dei semiconduttori richiede l'uso di gas diversi nelle diverse fasi del processo.
Mentre i gas comuni come l'azoto, l'idrogeno, l'argon e l'elio possono essere utilizzati nella loro forma pura, alcuni processi possono richiedere miscele specializzate.gli alogenuri e gli idrocarburi sono alcuni dei gas speciali utilizzati nella produzione di semiconduttoriMolti di questi gas possono essere pericolosi o altamente reattivi, creando sfide nella selezione e nella progettazione dei componenti per i sistemi a gas.
Ecco alcuni esempi:
L'idrogeno e l'elio possono facilmente fuoriuscire dai tubi e dai sistemi di montaggio a causa delle loro piccole dimensioni atomiche e del loro peso.
I silani sono altamente infiammabili e possono bruciare spontaneamente (autoaccendere) nell'aria.
Il difluoruro di azoto utilizzato nelle fasi di deposizione, incisione e pulizia delle camere diventa un potente gas serra quando viene rilasciato nell'ambiente.
Il fluoruro di idrogeno (gas di incisione) è altamente corrosivo per le tubazioni metalliche.
Il trimetilgallio e l'ammoniaca possono essere difficili da gestire: piccole fluttuazioni delle loro esigenze di temperatura e pressione possono influenzare il processo di deposizione.
Il controllo delle condizioni di processo per ridurre al minimo gli effetti negativi di questi gas deve essere una priorità assoluta durante la progettazione del sistema.È altrettanto importante utilizzare componenti di altissima qualità come le valvole del diaframma AFK durante il processo di costruzione.
Affrontare le sfide della progettazione del sistema
I gas di grado semiconduttore sono nella maggior parte dei casi di elevata purezza e forniscono condizioni inerte o migliorano le reazioni in diverse fasi del processo di fabbricazione, come i gas di incisione e di deposizione.Le perdite o la contaminazione di tali gas possono avere effetti negativiPertanto, it is critical for the system components used to be hermetically sealed and corrosion resistant as well as have a smooth surface finish (electrolytic polishing) to ensure that there is no possibility of contamination and that an extremely high level of cleanliness can be maintained.
Inoltre, alcuni di questi gas possono essere riscaldati o raffreddati per ottenere le condizioni di processo desiderate.che è fondamentale per l'efficienza del prodotto finale.
Dall'ingresso della fonte al punto di utilizzo, la vasta gamma di componenti AFK supporta la purezza ultra-alta, la temperatura,controllo della pressione e del flusso richiesto in ambienti puliti e camere a vuoto per semiconduttori.
Sistemi progettati con componenti di qualità in fabbriche di semiconduttori
Il ruolo dei componenti di qualità e dell'ottimizzazione della progettazione è fondamentale per il controllo preciso e la produzione sicura dei semiconduttori.I componenti utilizzati devono essere robusti e privi di perdite per soddisfare le diverse condizioni di processo richieste nelle diverse fasi di produzioneLe valvole, i raccordi, i regolatori, le tubature e i supporti di tenuta di alta qualità AFK sono caratterizzati dalle seguenti caratteristiche:
Purezza ultra elevata
Sigilli privi di perdite
Isolamento a temperatura controllata
Controllo della pressione
Resistenza alla corrosione
Trattamento elettrolitico di lucidatura