Il processo di produzione dei gas elettronici di specialità comprende parecchi processi come la sintesi, la purificazione, il materiale da otturazione, l'analisi e le prove, la mescolanza e proporzione. Per soddisfare le richieste fabbricanti a semiconduttore a valle del contenuto di impurità e della purezza, il processo di purificazione è molto importante. Secondo la composizione del gas di sintesi verso l'alto o del gas grezzo, la distillazione di bassa temperatura o la purificazione a più stadi è eseguita.
Alti requisiti di pulizia
Il processo della preparazione dei gas speciali elettronici può essere diviso in due blocchi importanti di preparazione e di purificazione verso l'alto della sintesi, che appartiene al processo di produzione chimico. La dimensione della conduttura di produzione è grande e non c'è requisito speciale del livello di pulizia. Dopo purificazione a valle, il prodotto è riempito di gas ed è mescolato per la preparazione. La conduttura di produzione è piccola ed ha requisiti del livello di pulizia. Deve rispondere alla specificazione standard del processo di fabbricazione a semiconduttore.
Alti requisiti di sigillatura
dovuto la loro attività chimica, i gas elettronici di specialità inoltre dispongono molta richiesta sui materiali e la sigillatura del sistema di produzione di produzione. Appena come i requisiti di fabbricazione a semiconduttore, impedisce la perdita dell'interfaccia causata tramite l'introduzione delle impurità o la corrosione dei gas speciali. Il sistema può anche essere usato per impedire l'introduzione delle impurità o la fuga dell'interfaccia causata tramite la corrosione dei gas speciali.
Requisiti di stabilità di alta qualità
La qualità dei gas elettronici di specialità include una serie di indicatori quale il contenuto della particella dell'impurità e della purezza. Tutto il cambiamento negli indicatori colpirà i risultati del processo di fabbricazione a valle a semiconduttore. Di conseguenza, per assicurare la consistenza degli indicatori speciali elettronici del prodotto del gas, il sistema di produzione della preparazione per controllare la stabilità degli indicatori è inoltre molto importante.
dovuto i requisiti chimici del EGP, il sistema di produzione per la preparazione del EGP, particolarmente il sistema a valle di qualità e di attività di purificazione, deve soddisfare le richieste dei materiali di elevata purezza, di alto sigillamento, di pulizia alta e di consistenza di alta qualità e la costruzione delle componenti costruite deve rispettare le norme dell'industria manufatturiera a semiconduttore.
Cui ci riferiamo a comunemente come «l'elevata purezza» è teoricamente la definizione della purezza di una sostanza, quali i gas di elevata purezza, prodotti chimici di elevata purezza, sistemi di produzione ecc. o i componenti di sistema di produzione che si applicano alle sostanze di grande purezza inoltre si riferiscono a come di grande purezza, quali i sistemi di grande purezza e le valvole di grande purezza. I sistemi elettronici del preparato del gas di specialità richiedono i montaggi dell'applicazione di elevata purezza, le valvole ed altre componenti fluide, cioè, montaggi e valvole che sono elaborati con i materiali di elevata purezza ed i processi di fabbricazione puliti e sono strutturati per l'eliminazione dell'inceppo e la pulizia facili. Con la prestazione di sigillatura alta. Queste componenti fluide sono destinate per incontrare il percorso di flusso trattato dell'applicazione, facendo uso dei requisiti della costruzione e di ingegneria dell'industria a semiconduttore.
Collegamenti di conduttura di elevata purezza
I collegamenti della guarnizione facciale della guarnizione del metallo di videoregistratore ed i collegamenti automatici della saldatura testa a testa della guida sono ampiamente usati nei requisiti fluidi richiedenti di processo della purezza del sistema dovuto la capacità di incontrare entrambe la transizione regolare del percorso di flusso al collegamento, nessuna zona di ristagno e gli alti collegamenti di sigillamento performance.VCR formano uno strato superficiale stretto espellendo una guarnizione relativamente molle del metallo. La prestazione ripetibile e costante di sigillatura e del collegamento è assicurata ogni volta la guarnizione deforme è rimossa e sostituita.
I tubi sono saldati facendo uso di un sistema di saldatura orbitale automatico. Il tubo è protetto dal gas di elevata purezza dentro e fuori. L'elettrodo del tungsteno gira lungo l'orbita per la saldatura di alta qualità. La saldatura orbitale completamente automatizzata fonde il tubo senza introdurre altri materiali, raggiungenti una saldatura di alta qualità ripetutamente controllando il tubo con pareti sottili è difficile da raggiungere con saldatura manuale.
Collegamento della guarnizione facciale della guarnizione del metallo di videoregistratore
Collegamento orbitale automatico della saldatura di testa dei tubi
Valvole di elevata purezza
L'attività chimica di molta richiesta di specialità dei posti elettronici infiammabili, esplosivi, corrosivi e tossici dei gas sul sigillamento della valvola. per migliorare l'affidabilità di sigillatura, il requisito delle valvole packingless impedire perdita esterna, cioè, operazione di commutazione del gambo di valvola ed il corpo di valvola fra la guarnizione facendo uso dei soffietti del metallo o il diaframma del metallo, per eliminare perdita dovuto deformazione della guarnizione di imballaggio e dell'abrasione. le valvole Soffietto-sigillate e diaframma-sigillate sono comunemente usate in sistemi di produzione per le applicazioni di grande purezza a causa di maggior affidabilità delle guarnizioni e della pulizia e della sostituzione più facili della purga dei internals della valvola.
le valvole Soffietto-sigillate sono una costruzione packingless della valvola a spillo che tiene conto il regolamento lento di flusso e di apertura. Usato per il gas elettronico di specialità che riempie di requisiti di flusso di sicurezza o sulle bottiglie di fonte del precursore di alti requisiti di sicurezza. Le guarnizioni tutte di metallo di punta del gambo tengono conto estremamente - temperature di funzionamento basse e sono usate per la liquefazione criogenica dei gas elettronici di specialità in carri armati del prodotto finito dopo distillazione criogenica per convogliare.
La valvola Springless della guarnizione del diaframma è un 1/4" valvola rottura-aperta per uso come valvola di commutazione automaticamente controllata nella conduttura della consegna. Sono comunemente usati nella ultra-alto-pressione, nelle applicazioni di grande purezza dovuto il loro percorso semplice di flusso interno, nel piccolo volume interno e nella facilità di eliminazione dell'inceppo e di sostituzione.
le valvole Diaframma-sigillate che si chiudono via la punta del gambo possono aprirsi lentamente ed essere usate alle più alte pressioni di esercizio di quanto le valvole diaframma-sigillate non balzate. Sono ampiamente usate sulle bottiglie elettroniche ad alta pressione di fonte del materiale da otturazione o del precursore del gas di specialità.
La guarnizione secondaria muggisce la valvola può non solo essere utilizzata nei sistemi di produzione ultrabassi della temperatura a -200 gradi, ma inoltre impedisce la perdita dei media pericolosi nell'atmosfera. Usato solitamente per i gas speciali elettronici molto pericolosi, quale il sistema di riempimento del silano.
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