La tecnologia di grande purezza della conduttura di gas è una parte importante di impianto di alimentazione di grande purezza del gas, che è la tecnologia chiave per consegnare il gas di grande purezza richiesto al punto di uso ed ancora per mantenere la qualità qualificata; La tecnologia di grande purezza della conduttura di gas comprende la progettazione corretta del sistema, la selezione dei montaggi ed accessori, costruzione ed installazione e prova. Negli ultimi anni, i requisiti sempre più rigorosi della purezza ed il contenuto in impurità dei gas di grande purezza nella produzione dei prodotti della microelettronica rappresentati dai circuiti integrati su grande scala hanno fatto la tecnologia stridente dei gas di grande purezza sempre più hanno interessato e sottolineato. Seguire è una breve panoramica della conduttura di gas di grande purezza dalla selezione materiale di costruzione come pure della gestione quotidiana e dell'accettazione.
Tipi di gas comuni
Classificazione dei gas comuni nell'industria elettronica:
Gas comuni (gas in serie): idrogeno (H2), azoto (N2), ossigeno (O2), l'argon (A2), ecc.
I gas di specialità sono SiH4, PH3, B2H6, A8H3, CL, HCl, CF4, NH3, POCL3, SIH2CL2 SIHCL3, NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR SF6 ...... ecc.
I tipi di gas speciali possono essere classificati generalmente come gas corrosivo, gas tossico, gas infiammabile, gas combustibile, gas inerte, ecc. I gas comunemente usati a semiconduttore sono classificati generalmente come segue.
(i) corrosivo/gas tossico: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… ecc.
(ii) gas di infiammabilità: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO… ecc.
(iii) gas di combustibilità: O2, Cl2, N2O, NF3… ecc.
(iv) gas inerte: N2, CF4, C2F6, C4F8, SF6, CO2, Ne, Kr, lui… ecc.
Molti gas a semiconduttore sono nocivi al corpo umano. In particolare, alcuni di questi gas, quale combustione spontanea SiH4, finchè una perdita reagirà violentemente con l'ossigeno nell'aria e comincerà a bruciare; e AsH3 altamente tossico, tutta la leggera perdita può causare il rischio di vita umana, è a causa di questi pericoli ovvi, in modo dai requisiti della sicurezza della progettazione di sistema è particolarmente alti.
Portata di applicazione dei gas
Come materia prima di base importante dell'industria moderna, i prodotti del gas sono ampiamente usati e tantissimi gas comuni o i gas speciali sono utilizzati nella metallurgia, nell'acciaio, in petrolio, nell'industria chimica, in macchinario, nell'elettronica, in vetro, in ceramica, nei materiali da costruzione, nella costruzione, nella trasformazione dei prodotti alimentari, nella medicina e nei settori medici. L'applicazione di gas ha un impatto importante sulla tecnologia avanzata di questi campi in particolare ed è il suo gas indispensabile di materia prima o gas trattato. Soltanto con i bisogni e la promozione di vari nuovi settori industriali e di scienza e tecnologia moderna, i prodotti dell'industria del gas possono essere sviluppati a passi da gigante in termini di varietà, qualità e quantità.
Applicazione di gas nell'industria a semiconduttore e di microelettronica
L'uso di gas ha svolto sempre un ruolo importante nel processo a semiconduttore, particolarmente il processo a semiconduttore è stato ampiamente usato in varie industrie, dai ULSI tradizionali, TFT LCD all'industria micro-elettrotipia-meccanica corrente (MEMS), che usano il cosiddetto processo a semiconduttore come il processo di fabbricazione dei prodotti. La purezza del gas ha un impatto decisivo sulla prestazione delle componenti e dei rendimenti di prodotto e la sicurezza dell'approvvigionamento di gas è collegata con la salubrità del personale e la sicurezza dei funzionamenti degli impianti.
Il significato di conduttura di grande purezza nel trasporto di grande purezza del gas
Nel corso di acciaio inossidabile fondere e fare il materiale, circa 200g di gas possono essere assorbite per tonnellata. Dopo l'elaborazione dell'acciaio inossidabile, non solo la sua superficie appiccicosa con i vari contaminanti, ma inoltre nella sua grata del metallo inoltre ha assorbito una certa quantità di gas. Quando c'è flusso d'aria attraverso la conduttura, il metallo assorbe questa parte del gas registrerà di nuovo il flusso d'aria, inquinante il gas puro. Quando il flusso d'aria nel tubo è flusso discontinuo, il tubo adsorbe il gas sotto pressione e quando il flusso d'aria smette di passare, il gas adsorbito dalle forme del tubo una perdita di pressione per risolvere ed il gas risolto inoltre fornisce il gas puro in
Concetto generale di tecnologia non inquinante per le condutture di distribuzione e della trasmissione
Trasmissione altamente pura e pulita del corpo del gas con il convoglio dei mezzi che ci sono determinati requisiti o comandi per tre aspetti del gas essere trasportato.
Purezza del gas: Il contenuto dell'atmosfera dell'impurità nella purezza di gGas: Il contenuto dell'atmosfera dell'impurità nel gas, ha espresso solitamente come una percentuale la purezza del gas, come 99,9999%, anche espressa come il rapporto del volume del contenuto PPM dell'atmosfera dell'impurità, ppb, ppt.
Siccità: la quantità di umidità della traccia nel gas, o l'importo ha chiamato l'umidità, espressa solitamente in termini di punto di rugiada, quale il punto di rugiada di pressione atmosferica -70. C.
Pulizia: il numero delle particelle dell'agente inquinante contenute nel gas, dimensione delle particelle di µm, quanti particles/M3 da esprimere, per aria compressa, solitamente anche espresso in termini di quanti mg/m3 dei residui solidi inevitabili, che riguarda il contenuto di olio.
Classificazione di dimensione dell'agente inquinante: le particelle dell'agente inquinante, pricipalmente si riferisce alla conduttura che raschia, l'usura, corrosione generata dalle particelle del metallo, particelle di fuliggine atmosferiche come pure i microrganismi, fagi e goccioline contenenti umidità di condensazione del gas, ecc., secondo la dimensione della sua dimensione delle particelle è diviso in
) grandi particelle - dimensione delle particelle superiore a 5μm
b) Particella - diametro materiale fra 0.1μm-5μm
c) Ultra-micro particelle - dimensione delle particelle meno di 0.1μm.
Per migliorare l'applicazione di questa tecnologia, per potere a comprensione percettiva delle unità di dimensione e del μm delle particelle, un insieme di stato specifico della particella è fornito per riferimento
Seguire è un confronto delle particelle specifiche
Μm di dimensione delle particelle di nome di dimensione di /Particle di nome di dimensione di /Particle di nome (µm) (µm)
Aerosol del virus 0.003-0.0 0.03-1 microdroplet aerosolizzati 1-12
Cenere volatile della pittura 0.1-6 del combustibile nucleare 0.01-0.1 1-200
Antiparassitari 5-10 di latte in polvere di nero di carbonio 0.01-0.3 0.1-10
Batteri della resina 0.01-1 0.3-30 polveri 5-100 del cemento
Fumo della sigaretta 0.01-1 polveri della sabbia 0.5-5 pollini 10-15
Capelli umani 50-120 dell'antiparassitario 0.5-10 del silicone 0.02-0.1
Sabbia di mare concentrata cristallizzata 100-1200 della polvere 1-11 dello zolfo del sale 0.03-0.5