Wofly Technology VMB Valve Manifold Distribution Box per applicazioni Silane

Scatola di distribuzione del gruppo valvola VMB per silani

Doppia garanzia di sicurezza e precisione nella distribuzione di gas speciali ad alto rischio

01 Funzioni principali

Distribuzione multipercorso a sorgente singola, controllo delle filiali indipendenti

L'apparecchiatura può dividere una singola fornitura di gas silano da una cappa per gas speciali a monte in più rami di fornitura indipendenti, fornendo contemporaneamente gas a più unità di processo e supporta la personalizzazione dei rami secondo necessità. Ogni ramo è dotato di una valvola on/off indipendente e di un'unità di monitoraggio della pressione, che consente il controllo separato del flusso di gas e l'arresto per manutenzione. La manutenzione su una singola filiale non interferisce con la normale fornitura di gas alle altre filiali, riducendo al minimo il rischio di fermi linea di produzione.

Spurgo inerte e sostituzione del vuoto per garantire la sicurezza operativa

Il sistema è dotato di linee di spurgo con azoto ad elevata purezza (PN₂) e linee di estrazione sotto vuoto integrate. Prima della manutenzione delle diramazioni, dell'avvio o dell'arresto delle apparecchiature o dello smontaggio e rimontaggio della tubazione, la tubazione di destinazione può essere sottoposta a uno spurgo del gas inerte e alla sostituzione del vuoto dell'intero processo, eliminando completamente il gas silano residuo dalle linee e prevenendo la combustione spontanea causata dal silano che entra in contatto con l'aria dopo l'apertura della valvola. Ciò è pienamente conforme ai requisiti operativi di sicurezza per i sistemi a silano delineati negli standard tecnici di ingegneria per sistemi di gas speciali.

Tubazioni in acciaio inossidabile di grado 316LEP

Monitoraggio della pressione in tempo reale e avvisi di interblocco di condizioni anomale

Ogni linea di diramazione è dotata di manometri e sensori di pressione ad alta precisione che visualizzano le condizioni di pressione in tempo reale all'ingresso e all'uscita e supportano la configurazione degli allarmi dei limiti di pressione superiore e inferiore. In combinazione con le valvole pneumatiche di arresto di emergenza, il sistema può interrompere rapidamente la linea di diramazione corrispondente, o anche l'alimentazione principale del gas, quando rileva rischi quali pressione anomala o perdite di gas. Attiva allarmi acustici e visivi e si integra con il sistema di controllo centrale dell'impianto per ottenere una risposta di emergenza a livello di millisecondo.

Protezione sigillata a pressione negativa, controllo centralizzato delle perdite

Il sistema utilizza una struttura dell'armadio completamente chiusa, dotata di un'apertura di scarico superiore e di una griglia di aspirazione inferiore, per mantenere una pressione negativa stabile all'interno dell'armadio durante il funzionamento. Anche in caso di tracce di perdita, il gas silano viene confinato all'interno dell'armadio ed estratto centralmente attraverso il sistema di scarico verso l'unità di trattamento dei gas di scarico, impedendo al gas fuoriuscito di diffondersi nell'officina di produzione ed eliminando i rischi di combustione spontanea e avvelenamento a livello spaziale.

02 Funzionalità principali

Progettazione di sicurezza specifica per gas ad alto rischio

Specificamente ottimizzato per le proprietà esplosive e di autoaccensione del silano, il sistema può essere dotato di rilevatori di gas silano integrati e dispositivi di rilevamento della fiamma. Tutti i componenti elettrici soddisfano le specifiche antideflagranti e il meccanismo di interblocco di sicurezza multistrato è pienamente conforme agli standard di controllo per i gas speciali ad alto rischio, superando di gran lunga il livello di sicurezza dei VMB di gas inerte standard.

Fornitura di gas ad elevata purezza di livello elettronico

Tutti i componenti a flusso continuo sono realizzati in acciaio inossidabile SS316L EP con superfici interne lucidate elettroliticamente. Le tubazioni vengono fabbricate utilizzando un processo di saldatura dei binari completamente automatizzato, che garantisce l'assenza di angoli morti e il rilascio di particelle. Le valvole sono sottoposte a test di tenuta dell'elio con un tasso di perdita di ≤1×10⁻⁹ atm・cc/s, garantendo che la purezza del gas silano rimanga inalterata durante tutto il processo e soddisfacendo i requisiti dei processi di produzione ad alta precisione.

Il design a pavimento offre un'adattabilità superiore

Il design della staffa da pavimento offre una maggiore capacità di carico ed elimina la necessità di installazione a parete. Può essere posizionato in modo flessibile in vari ambienti, ad esempio intorno alle camere bianche o lungo i corridoi dei gas speciali, rendendolo più adattabile a layout complessi di linee di produzione rispetto ai VMB montati a parete.

Valvole interne VMB / Valvole a membrana / Manometri

03 Scenari applicativi principali

Produzione di wafer semiconduttori

Compatibile con i processi di deposizione di film sottile come PECVD, LPCVD e ALD nelle linee di produzione di wafer, questo sistema distribuisce con precisione il gas silano su più dispositivi di rivestimento, garantendo la stabilità del processo per la deposizione di film di nitruro di silicio e ossido di silicio. Soddisfa inoltre i requisiti di controllo di sicurezza per i gas ad alto rischio nelle camere bianche, rendendolo la configurazione standard per la distribuzione secondaria di gas speciali nelle fabbriche di wafer.

Produzione di celle fotovoltaiche

Ampiamente utilizzato nelle linee di produzione di celle ad alta efficienza come TOPCon, HJT ed eterogiunzione, questo sistema consente la distribuzione del gas silano a più macchine durante i processi di deposizione e drogaggio di film sottili a base di silicio. Soddisfa le richieste di fornitura continua di gas delle linee di produzione fotovoltaica ad alta capacità fornendo al contempo flessibilità per ammodernamenti ed espansioni della linea, contribuendo così a ridurre i costi e migliorare l'efficienza.

-VMB-

Produzione di display e optoelettronica di nuova generazione

Servendo linee di produzione di pannelli display TFT-LCD, AMOLED e Mini/Micro LED, nonché settori quali preforme di fibre ottiche e semiconduttori compositi, forniamo erogazione e distribuzione di silano stabili e controllabili per processi di deposizione e incisione di film sottili, adattati ai layout di fornitura di gas multi-macchina su larga scala delle linee di produzione di alta generazione.

Istituti di ricerca e laboratori di prova

Fornisce soluzioni di distribuzione del silano su piccola scala per piattaforme di ricerca e sviluppo di materiali e di convalida dei processi in laboratori universitari e istituti di ricerca, bilanciando la sicurezza operativa con la precisione della fornitura di gas per soddisfare le esigenze di applicazioni di gas sperimentali in piccoli lotti e multi-condizione.

Vantaggi di WoflyProdotti e servizi della tecnologia

1. Ricerca e sviluppo e produzione interni, con eccezionali capacità di personalizzazione

In quanto impresa high-tech a livello nazionale e impresa "specializzata, raffinata, distintiva e innovativa", Wofly Technology possiede capacità di ricerca e sviluppo e produzione indipendenti. L'azienda ha creato una propria base produttiva di 8.000 metri quadrati, completa di officine di assemblaggio in camere bianche di Classe 100 e Classe 1.000. L'intero processo di produzione per l'intera serie di prodotti VMB, dalla progettazione della soluzione e assemblaggio della valvola al test e alla spedizione, viene completato internamente. I prodotti possono essere completamente personalizzati per soddisfare le specifiche esigenze dei clienti in termini di numero di uscite del gas, parametri di pressione, modalità di controllo e scenari di installazione, soddisfacendo le esigenze delle linee di produzione di vari settori e di diverse scale.

Vista interna del VMB progettato specificatamente per i silani

2. Qualifiche complete e conformità garantita

L'azienda possiede una qualifica contrattuale specializzata per la realizzazione di progetti di installazione meccanica ed elettrica, una qualifica GC2 per la progettazione e l'installazione di condotte in pressione e un permesso di sicurezza sul lavoro. I nostri prodotti hanno ottenuto numerose certificazioni, tra cui CE e ISO 9001. La progettazione e la produzione aderiscono rigorosamente agli standard nazionali per l'ingegneria dei gas speciali, come GB 50646. Tutte le apparecchiature sono sottoposte a test completi sulle perdite di elio e test funzionali prima di lasciare la fabbrica, garantendo che siano pronte per un funzionamento conforme al momento della consegna.

Un giro diWoflyCamera bianca di classe 1.000 della tecnologia

3. Servizio unico per l'intera catena industriale

Andando oltre la semplice fornitura di singole apparecchiature, Wofly Technology fornisce una soluzione completa e completa che copre l'intero processo: dalla pianificazione delle stazioni di servizio speciali, all'installazione della conduttura principale e al layout del nodo di distribuzione VMB fino alle tubazioni secondarie del punto finale. Questa soluzione copre l'intero ciclo di vita, compresa la consulenza tecnica, la progettazione del sistema, la prefabbricazione e l'installazione, il test e l'accettazione, nonché la formazione operativa e di manutenzione. I clienti non hanno bisogno di coordinarsi con più fornitori, riducendo significativamente i costi di comunicazione e gestione del progetto.

Vista interna del VMB progettato specificatamente per i silani

4. Oltre un decennio di competenza nel settore e una vasta esperienza di implementazione

Con oltre un decennio di profonda esperienza nel campo dei gas speciali per l'industria elettronica, i nostri servizi abbracciano molteplici settori tra cui semiconduttori, fotovoltaico, prodotti biofarmaceutici e istituti di ricerca. Abbiamo implementato con successo centinaia di progetti di ingegneria di sistemi di gas speciali. Il nostro team principale possiede una vasta esperienza nella progettazione e costruzione di sistemi di gas speciali ad alto rischio, consentendoci di rispondere rapidamente alle esigenze dei clienti e fornire soluzioni ottimali su misura per le condizioni operative effettive.

WoflyVetrina di armadietti per gas speciali e VMB di Technology

In quanto “hub finale” dei sistemi elettronici di gas speciali, il VMB specifico per il silano è un componente fondamentale per garantire una fornitura di gas sicura, stabile e di elevata purezza alle linee di produzione. Wofly Technology continuerà a dare priorità alla tecnologia, ottimizzando in modo iterativo i propri prodotti per varie condizioni operative di gas speciali ad alto rischio per fornire all’industria manifatturiera di fascia alta soluzioni di sistemi di gas speciali più affidabili e su misura.